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集成电路装备重大专项检查组赴清华大学检查课题实施进展

2011年1月17日下午,由“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(以下简称集成电路装备专项)领导小组办公室主任戴国强、实施管理办公室主任梁胜、总体专家组组长叶甜春和副组长王曦院士带队的检查组一行20余人到清华大学检查其承担的集成电路装备专项工作进展情况。此次检查对于确保清华承担的集成电路装备专项项目课题按计划全面有序实施具有重要意义。

  清华大学副校长康克军向检查组汇报了学校科技重大专项的组织管理以及承担的集成电路装备专项项目课题总体实施情况。精仪系朱煜教授、路新春教授、微电子所许军教授等12人分别汇报了此次检查的12个项目(课题或子课题)的进展情况。

  检查组专家认真听取了汇报,与参会课题成员进行了座谈交流,并现场检查了各课题的阶段成果。叶甜春组长代表检查组充分肯定了清华对科技重大专项的组织管理工作,对清华承担的集成电路装备专项课题所取得的标志性成果高度赞赏。戴国强主任表示,清华大学为推动集成电路装备专项的实施做了大量卓有成效的工作,所取得的成果对于推动产业发展具有重要作用。叶甜春组长和戴国强主任也对今后如何进一步加强科技重大专项的组织管理、深化研究、加强队伍建设、注重研究成果与产业界的深度结合等提出了建议。清华大学科研院、精仪系、计算机系主、微电子所等相关负责人30余人参加会议。